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         熱電堆傳感器是一種將溫度變化轉化為電能的裝置，被廣泛應用于醫療、汽車工業、石油化工等領域，用來測量人體溫度、引擎溫度、燃氣流量等數據。MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）技術的蓬勃發展開辟了一個全新的領域和產業，實現了MEMS器件的批量生產與制備。采用該技術制造的硅基熱電堆紅外傳感器在體積、價格和性能各方面都取得了明顯的優勢，從而推動了MEMS熱電堆紅外探測器的研究與發展。

        熱電堆紅外傳感器原理

　　熱電堆是基于塞貝克效應機理，采用硅基微加工工藝，在硅片支撐層上排布若干對、具有兩種具有不同塞貝克系數材料的熱電偶，把這些熱電偶串聯起來，就構成熱電堆芯片。串聯交接處中溫度較高的一端通常被稱作“熱結”，較低的一端被稱作“冷結”，熱端與冷端之間形成一定的溫差ΔT，材料中載流子沿著溫度梯度降低的方向移動，引起電荷積累在冷結處，此時回路中便有溫差電動勢ΔV產生。此時，即可再通過電路將電動勢轉換成被測物體的實際溫度。由于溫差電動勢ΔV的大小只取決于材料種類與溫差，當熱電偶的兩種材料都確定后，其大小只和熱電偶兩端的溫度差有關。

         紅外熱電堆傳感器應用于體溫計、可穿戴設備、智能家居系統。