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       近日，由中科院高能物理研究所濟南研究部自主研發的全自動IGBT缺陷X射線三維檢測設備已經正式亮相。

        該設備基于X射線計算機層析成像技術，并將人工智能（AI）算法引入檢測系統，可對不合格產品進行自動識別及分揀。

         IGBT（絕緣柵雙極晶體管）是一種功率半導體器件，俗稱電力電子裝置的“心臟”，在高鐵、新能源汽車、軌道交通、智能電網、航空航天等領域應用極廣。“作為一種功率模塊，在運行過程中會產生大量的熱，需要及時散掉。

         IGBT模塊中通常存在兩個焊料層，焊料層的氣孔會嚴重影響散熱的效率，可能導致重大安全事故，因此需要對氣孔率嚴格控制。”中科院高能物理研究所副研究員、銳影檢測科技（濟南）有限公司總經理劉寶東博士介紹，IGBT模塊具有兩個焊料層，普通的二維X光成像會將兩層混在一起，無法區分。此外，有些大功率的模塊帶有散熱柱，會嚴重影響氣孔檢測的準確率。

         這個重大成果實現了IGBT模塊的全自動在線無損檢測，數據實時反饋存儲，有效解決了雙層焊料疊加及散熱柱導致X射線2D檢測不準確的難點，大大提高檢測效率，保障了IGBT模塊的產品品質。