頂點光電子商城2022年6月14日消息：近日，沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司（以下簡稱“芯源微”）宣布，公司12寸KrF涂膠顯影設(shè)備已于10日入駐廈門士蘭集科。
芯源微表示，此次，公司12寸高產(chǎn)能KrF涂膠顯影量產(chǎn)機(jī)臺的交付，將會為士蘭集科提供更加高端的光刻工藝解決方案及服務(wù)，為士蘭集科后續(xù)高端產(chǎn)品穩(wěn)定量產(chǎn)、產(chǎn)線升級擴(kuò)產(chǎn)提供更為安全的供應(yīng)鏈保障。
涂膠顯影設(shè)備是在光刻工序中和光刻機(jī)配套使用的機(jī)器，主要起到涂膠、烘烤和顯影的作用。涂膠顯影設(shè)備是集成電路生產(chǎn)過程中不可獲缺的設(shè)備，能夠直接影響到光刻工序中曝光圖案的形成。以及后道的封測和LED制造中，涂膠顯影設(shè)備應(yīng)用領(lǐng)域廣闊，現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于集成電路、OLED、LED、化合物半導(dǎo)體&功率器件等先進(jìn)制造領(lǐng)域，在晶圓生產(chǎn)中也起到重要作用。
芯源微成立于 2002 年，專業(yè)從事光刻工序涂膠顯影設(shè)備、單片式濕法設(shè)備等半導(dǎo) 體專用設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，并提供半導(dǎo)體裝備與工藝整體解決方案。公司生產(chǎn)的涂膠顯影設(shè)備成功打破國外壟斷，填補國內(nèi)空白。經(jīng)過多年技術(shù)研發(fā)， 公司已在集成電路后道先進(jìn)封裝&前道晶圓加工、LED 芯片制造等領(lǐng)域取得重要突破。
半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)景氣度延續(xù)，涂膠顯影設(shè)備需求持續(xù)提升，晶圓產(chǎn)能東移背景下，前道涂膠顯影市場空間持續(xù)提升。全球范圍內(nèi)來看，受益半導(dǎo)體行業(yè)景氣度提升，前道涂膠顯影設(shè)備市場需求穩(wěn)步提升。
杭州士蘭微電子股份有限公司（600460）坐落于杭州高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)，是專業(yè)從事集成電路芯片設(shè)計以及半導(dǎo)體微電子相關(guān)產(chǎn)品生產(chǎn)的高新技術(shù)企業(yè)。公司成立于1997年9月，總部在中國杭州。2003年3月公司股票在上海證券交易所掛牌交易，是第一家在中國境內(nèi)上市的集成電路芯片設(shè)計企業(yè)。得益于中國電子信息產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展，士蘭微電子已成為國內(nèi)規(guī)模最大的集成電路芯片設(shè)計與制造一體（IDM）的企業(yè)之一，其技術(shù)水平、營業(yè)規(guī)模、盈利能力等各項指標(biāo)在國內(nèi)同行中均名列前茅。
此次搬入儀式完成后，芯源微與士蘭集科簽署了戰(zhàn)略合作協(xié)議。
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