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晶盛機電發布6英寸雙片式碳化硅外延設備

          頂點光電子商城2月6日消息:近日,晶盛機電舉行6英寸雙片式碳化硅外延設備新品發布會。


         外延工藝是整個產業中的一種非常關鍵的工藝,由于現在所有的器件基本上都是在外延上實現,所以外延的質量對器件的性能是影響是非常大的,但是外延的質量它又受到晶體和襯底。加工的影響,處在一個產業的中間環節,對產業的發展起到非常關鍵的作用。


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        碳化硅外延片,是指在碳化硅襯底上生長了一層有一定要求的、與襯底晶相同的單晶薄膜(外延層)的碳化硅片。實際應用中,寬禁帶半導體器件幾乎都做在外延層上,碳化硅晶片本身只作為襯底,包括GaN外延層的襯底。


      浙江晶盛機電股份有限公司創建于2006年12月,是國內領先的半導體材料裝備和化合物半導體襯底材料制造的高新技術企業,公司已成為全球光伏裝備技術和規模雙領先的企業,國內集成電路級 8-12 英寸大硅片生長及加工設備領先企業,公司大尺寸藍寶石晶體生長工藝和技術已達到國際領先水平,是掌握核心技術和規模優勢的龍頭企業。公司為半導體產業、光伏產業和化合物襯底產業提供智能化工廠解決方案,滿足客戶數字化智能化的生產模式需求。   

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