頂點光電子商城2022年8月23消息：近日，盛美半導(dǎo)體宣布電化學(xué)電鍍（ECP）設(shè)備系列第500個電鍍腔出機，順利交付客戶。
成立于1998年的盛美半導(dǎo)體，至今已有23年的發(fā)展歷史。成立之初，公司專注于開發(fā)包括用于超低K材料和銅集成制造工藝的設(shè)備，致力于無應(yīng)力銅拋光技術(shù)的研發(fā)。
至2005年時，隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)線向國內(nèi)轉(zhuǎn)移，再疊加半導(dǎo)體設(shè)備市場需求明顯增加，上海市大力發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，盛美半導(dǎo)體便作為重點企業(yè)被引進上海，盛美上海的前身盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司也由此成立。
盛美半導(dǎo)體的第一臺SiN LPCVD已于2020年初交付給一家重要的邏輯制造商，并在該工廠進行大規(guī)模量產(chǎn)驗證;同時，另一臺合金退火工藝立式爐設(shè)備已于2020年底交付給一家功率器件制造客戶;其他相關(guān)設(shè)備的產(chǎn)品也陸續(xù)開始在與客戶進行測試。
盛美上海的電鍍技術(shù)已通過半導(dǎo)體大廠的生產(chǎn)線工藝評估，應(yīng)用于55nm至28nm、TSV、高密度扇出封裝、常規(guī)Pillar、RDL產(chǎn)品生產(chǎn)線。截止至2021年12月，盛美電鍍設(shè)備銷售額占全球集成電路電鍍市場4%。
盛美半導(dǎo)體覆蓋80%以上的清洗設(shè)備市場。據(jù)中銀證券數(shù)據(jù)顯示，在本土12英寸晶圓產(chǎn)線上僅有盛美上海持續(xù)獲得清洗設(shè)備的重復(fù)訂單，且盛美半導(dǎo)體清洗設(shè)備目前在國內(nèi)的市占率為23%，已成為了國內(nèi)清洗設(shè)備市場的龍頭企業(yè)。目前，盛美半導(dǎo)體的產(chǎn)品訂單已經(jīng)達到67臺，銷售總額超過12億。
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