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中科院上海微系統所12英寸大硅片攻關團隊獲表彰

        頂點光電子商城2022年6月30日消息:近日,為激勵基層黨組織和廣大黨員在科技創新工作中發揮好“兩個作用”(基層黨組織戰斗堡壘作用和黨員先鋒模范作用),充分發揮優秀科技創新團隊的示范帶動作用,中國科學院近日組織開展“科技創新先鋒團隊”評選,表彰30支在科技攻關任務中帶頭踐行科學家精神、充分發揮“兩個作用”、科技創新成效顯著的科技創新團隊,其中包括上海微系統與信息技術研究所12英寸大硅片攻關團隊。


中科院上海微系統所12英寸大硅片攻關團隊獲表彰(圖1)


  硅片是集成電路產業最大宗的核心基礎材料,我國12英寸硅片長期百分百依賴進口,嚴重制約產業安全自主發展。為從根本上解決這一問題,中科院上海微系統所于2014年組建了12英寸大硅片攻關團隊。


  2016年10月31日,攻關團隊拉制出第一根大產率單晶棒。2017年2月,晶棒長度提升至2米,達到國際先進水平。2021年,無缺陷硅單晶生長技術取得重大突破,滿足先進存儲器制造需求。


  經過8年的艱苦攻關,團隊克服重重困難,不但實現我國12英寸硅片制造的技術突破,更是攻克了集成電路領域14納米先進節點硅片難題,并實現存儲器用無缺陷硅片技術的重大突破。


  截至2022年5月,累計出貨量超500萬片,滿足國內5家主要集成電路制造企業23%的正片需求,解決了我國集成電路產業戰略急需問題。

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