頂點光電子商城2022年6月20日消息：佳能將于2022年8月初發售KrF半導體光刻機“FPA-6300ES6a”的“Grade10”產能升級配件包（以下簡稱“Grade10”升級包）。
佳能半導體光刻機“FPA-6300ES6a”
佳能是日本的一家全球領先的生產影像與信息產品的綜合集團，從1937年成立以來，經過多年不懈的努力，佳能已將自己的業務全球化并擴展到各個領域。佳能的產品系列共分布于三大領域：個人產品、辦公設備和工業設備，主要產品包括照相機及鏡頭、數碼相機、打印機、復印機、傳真機、掃描儀、廣播設備、醫療器材及半導體生產設備等。佳能總部位于日本東京，并在美洲、歐洲、亞洲及日本設有4大區域性銷售總部，在世界各地擁有子公司200家，雇員超過10萬人。
“重復步進并多次掃描曝光”的裝置稱為“步進掃描光刻機”，該裝置通過控制掩模臺與工作臺的同步運動的方式實現曝光動作。由于步進式掃描光刻機的掃描儀可以在掃描操作中覆蓋曝光視角，因此其主要優點是易于通過調整鏡頭的有效區域來擴大數值孔徑（NA, Numerical aperture），并在鏡頭像差較小的部分進行曝光，從而更好地抑制曝光失真，帶來高精度曝光。
據介紹，KrF 半導體光刻機“FPA-6300ES6a”自發售至今，已經在生產存儲器和邏輯電路的大型半導體器件制造廠商中收獲良好口碑。新發布的“Grade10”升級包能夠在 300mm 晶圓規格基礎上，實現每小時 300 片晶圓的高效率生產。此外，這一升級包將于 2023 年在 KrF 半導體光刻機“FPA-6300ES6a”的 200mm 兼容設備上得到應用。
投入工廠運行的“FPA-6300ES6a”設備
新發布的“Grade10”升級包能夠在300mm晶圓規格基礎上，實現每小時300片晶圓的高效率生產。此外，這一升級包將于2023年在KrF半導體光刻機“FPA-6300ES6a”的200mm兼容設備上得到應用。 對于已經在半導體器件制造廠商中投入使用的KrF半導體光刻機“FPA-6300ES6a”*6，無需更換設備即可通過使用“Grade10”升級包進一步提高生產效率。
佳能公司自1937年創業以來，始終秉承"共生"的企業理念，以創造世界一流產品為奮斗目標，向多元化和全球化發展。目前， 佳能的事業以光學技術為核心，涵蓋了影像系統產品、辦公產品以及產業設備等廣泛領域。位于東京的集團總部與美洲、歐洲、 亞洲和大洋洲的各區域總部緊密聯系，構筑了全球化與本土化有機結合的經營體制。
如今，在半導體、液晶面板以及有機EL板等高科技制造業領域，佳能正在加快向亞洲生產基地、尤其是向中國市場的投資轉移。
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