頂點光電子商城2025年10月24日消息：上海優(yōu)睿譜半導體設備有限公司（簡稱“優(yōu)睿譜”）10月23日在官方微信宣布，公司近日發(fā)布全新產品系列：暗場無圖形晶圓缺陷檢測設備 LSRVision，并成功交付國內頭部客戶。
據介紹，LSRVision系列產品是專用于晶圓表面缺陷檢測，如Particle，Scratch，Crack, Slipline, Hex Bump, Epi, Shower Head, Crescent, Pit等多種缺陷，最高可檢測60nm尺寸的顆粒；通過適配不同波長的激光器，可廣泛應用于碳化硅襯底和外延片表面缺陷檢測，氮化鎵（GaN）&氧化鎵（Ga2O3）襯底和外延片表面缺陷檢測，硅、砷化鎵（GaAs）&磷化銦（InP）襯底和外延片表面缺陷檢測。
與傳統(tǒng)線掃&拍照模式的AOI（Auto Optical Inspection）檢測技術相比，優(yōu)睿譜LSR系列設備采用多波長光學系統(tǒng)設計，搭載高速旋轉Spindle（每分鐘轉速＞5000轉），并采用多組光電倍增管匹配濾光片進行信號采集。LSR系統(tǒng)實現最多可同時采集八通道（散射、光致發(fā)光、反射、形貌及相位信息等）信號，保證高靈敏度的同時也保證了缺陷檢測的準確度，并最大程度上保持較高的產率（WPH）。
優(yōu)睿譜成立于2021年，由長期從事半導體行業(yè)的海歸博士領銜，協(xié)同國內資深的半導體前道制程量測設備技術團隊共同發(fā)起成立，致力于打造高品質的半導體前道量測設備，提供半導體前道光學測量、檢測以及電性能測量綜合解決方案。
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