頂點光電子商城2025年8月12日消息:近日,SK海力士為推動DDR5及高帶寬存儲(HBM)產品性能升級,并在新一代存儲技術中占據領先地位,計劃在量產1c DRAM上應用六層極紫外光(EUV)工藝。
EUV技術采用13.5納米波長,可在電路中實現更精細的結構刻畫,減少多重圖案化步驟。傳統DRAM制造多采用EUV與深紫外(DUV)工藝混合,而SK海力士此次在1c DRAM全面采用六層EUV工藝,不僅可以簡化生產流程,還有助于提升產品良品率和利潤率。
通過該工藝,SK海力士能夠生產更高密度、更高速、更節能的DDR5及高容量HBM芯片,顯著提升產能和良品率。尤其在HBM4等未來產品中,1c DRAM的應用有望帶來性能與容量的雙重突破,為人工智能、高性能計算等領域提供更強支撐。
在第六代DRAM的研發中,美光、三星電子和SK海力士呈現出截然不同的技術路線。美光采取“有限EUV”策略,三星電子已在D1c制程中引入超過五層EUV工藝。SK海力士此次在1c DRAM上應用六層EUV工藝,刷新了行業標準,在新一輪技術競賽中,此舉不僅鞏固了其在存儲市場的領先地位,也為其與三星等競爭對手的較量增添了新優勢。
目前1c DRAM尚未廣泛應用于主流消費級內存,但SK海力士正積極探索其在更大容量DDR5及HBM產品中的可能性。未來,隨著1d和0a DRAM等下一代產品的發展,SK海力士計劃將EUV融入到這些技術中,最終實現高數值孔徑(High-NA)EUV技術的集成。