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我國成功開發這一新技術

          頂點光電子商城2025年3月28日消息:近日,由西湖大學孵化的西湖儀器(杭州)技術有限公司(以下簡稱西湖儀器)成功實現12英寸碳化硅襯底自動化激光剝離,解決了12英寸及以上超大尺寸碳化硅襯底切片難題。


         與傳統的硅材料相比,碳化硅具有更寬的禁帶能隙,以及更高的熔點、電子遷移率和熱導率。其能夠在高溫、高電壓條件下穩定工作,已成為新能源和半導體產業迭代升級的關鍵材料,在電動汽車、光伏發電、智能電網、無線通信等領域擁有廣闊應用前景。


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         此前,西湖儀器已率先推出8英寸導電型碳化硅襯底激光剝離設備。為響應最新市場需求,西湖儀器迅速推出超大尺寸碳化硅襯底激光剝離技術,將超快激光加工技術應用于碳化硅襯底加工行業,完成了相關設備和集成系統的開發。


          超大尺寸碳化硅襯底激光剝離技術可大幅縮短襯底出片時間,適用于未來超大尺寸碳化硅襯底的規模化量產,有助于加速超大尺寸碳化硅襯底技術的研發迭代,進一步促進行業降本增效。


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