頂點光電子商城2025年3月26日消息：近日，北方華創（Naura）正式推出其首款12英寸電鍍設備（ECP）——Ausip T830，該設備專為硅通孔（TSV）銅填充工藝優化，主要面向2.5D/3D先進封裝市場。此次發布標志著北方華創成功進軍電鍍設備領域，并進一步完善了其在先進封裝領域的全流程設備布局，涵蓋刻蝕、去膠、PVD、CVD、電鍍、PIQ及清洗等關鍵工藝環節。
Ausip T830專為硅通孔（TSV）銅填充設計，主要應用于2.5D/3D先進封裝領域。與物理氣相沉積（PVD）設備協同工作，適用于邏輯芯片、存儲芯片、功率器件及先進封裝等制造工藝。
Ausip T830采用高真空密封和電化學沉積技術，優化電場、流場和藥液濃度，實現高深寬比TSV填充，減少缺陷，提高良率。雙層雙腔架構，可同時處理兩片晶圓，提高產能并節省空間。智能補液系統減少添加劑用量，符合綠色制造趨勢。支持模塊化定制，可適應不同客戶需求。
全球電鍍設備市場規模已達80-90億元人民幣，并持續增長，預計未來幾年將突破百億。此次發布使北方華創在先進封裝領域形成完整互連解決方案，涵蓋刻蝕、去膠、PVD、CVD、電鍍、PIQ和清洗設備。
近期北方華創動作頻繁，除電鍍設備外，還宣布進軍離子注入設備市場，發布首款離子注入機Sirius MC 313。此前，該公司還通過收購芯源微（688037）17.9%股份，強化在涂膠顯影、濕法設備等領域的競爭力。
此次Ausip T830的發布，不僅填補了國產高端電鍍設備的空白，也進一步鞏固了北方華創在國內半導體設備行業的龍頭地位。未來，該公司計劃持續加大研發投入，推動先進封裝技術的發展。
鄂公網安備 42011502001385號 鄂ICP備2021012849號 
