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九峰山實(shí)驗(yàn)室國(guó)際首創(chuàng)8英寸硅基氮極性氮化鎵襯底

        頂點(diǎn)光電子商城2025年3月24日消息:九峰山實(shí)驗(yàn)室近期在第三代半導(dǎo)體材料領(lǐng)域取得重大突破,國(guó)際首創(chuàng)8英寸硅基氮極性氮化鎵(N-polar GaNOI)襯底技術(shù),引發(fā)行業(yè)高度關(guān)注。這一成果不僅填補(bǔ)了技術(shù)空白,更有望推動(dòng)5G/6G通信、衛(wèi)星互聯(lián)網(wǎng)、雷達(dá)探測(cè)等前沿領(lǐng)域的技術(shù)革新。


         實(shí)驗(yàn)室攻克氮極性氮化鎵材料生長(zhǎng)難題,在8英寸硅襯底上制備出高電子遷移率功能材料(N-polar GaNOI)。相較于傳統(tǒng)鎵極性氮化鎵,氮極性結(jié)構(gòu)在高頻段(如毫米波)性能更優(yōu),可顯著提升器件的功率密度和效率。


        該技術(shù)采用CMOS兼容工藝,可直接對(duì)接主流半導(dǎo)體產(chǎn)線,大幅降低了量產(chǎn)成本。鍵合界面良率超過99%,為大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化掃清障礙。


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         基于自研氮化鎵器件,實(shí)驗(yàn)室構(gòu)建了20米級(jí)微波無線傳能系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)對(duì)無人機(jī)的動(dòng)態(tài)供電。該技術(shù)突破傳統(tǒng)無線充電的距離與效率瓶頸,為物流、工業(yè)4.0等領(lǐng)域提供新解決方案。


          此前僅有少數(shù)機(jī)構(gòu)能小批量生產(chǎn)2-4英寸氮極性氮化鎵襯底,且成本高昂。九峰山實(shí)驗(yàn)室的8英寸技術(shù)直接跨越尺寸限制,打破國(guó)際技術(shù)壟斷。實(shí)驗(yàn)室已聯(lián)合華工科技等企業(yè)推進(jìn)國(guó)產(chǎn)化設(shè)備驗(yàn)證,加速技術(shù)落地。其PDK(工藝設(shè)計(jì)套件)平臺(tái)支持全球芯片設(shè)計(jì)企業(yè)接入,有望吸引國(guó)際供應(yīng)鏈合作。


         在化合物半導(dǎo)體領(lǐng)域,氮化鎵被視為“新質(zhì)生產(chǎn)力”的關(guān)鍵材料。九峰山實(shí)驗(yàn)室的突破與我國(guó)“十四五”規(guī)劃中半導(dǎo)體自主可控目標(biāo)高度契合,為高端芯片國(guó)產(chǎn)化提供材料基礎(chǔ)。


           九峰山實(shí)驗(yàn)室的這項(xiàng)成果不僅是材料科學(xué)的里程碑,更是我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)從“跟跑”到“領(lǐng)跑”的縮影。隨著技術(shù)逐步產(chǎn)業(yè)化,有望重塑高頻通信、自動(dòng)駕駛、能源傳輸?shù)阮I(lǐng)域的競(jìng)爭(zhēng)格局。未來,隨著8英寸及以上大尺寸氮化鎵材料的普及,一個(gè)由“中國(guó)創(chuàng)新”驅(qū)動(dòng)的半導(dǎo)體新時(shí)代或?qū)⒓铀俚絹怼?/span>


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