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濱松板級(jí)LCOS-SLM空間光調(diào)制器 X15223系列及其工業(yè)激光加工應(yīng)用

        濱松正式推出X15223系列板級(jí)硅基液晶空間光調(diào)制器LCOS-SLM,該產(chǎn)品相較于原板級(jí)產(chǎn)品體積縮小一倍,并推出了新的波長(zhǎng)范圍可供選擇,包括了三個(gè)波段的水冷型號(hào),產(chǎn)品性能保持不變,并在保留DVI連接方式的同時(shí)新增了USB2.0連接方式。

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        X15223系列寬光譜型號(hào)保留了滿足絕大部分低功率應(yīng)用所需的 400nm-700nm(-01), 620nm-1100nm(-07), 1000nm-1550nm(-08)三個(gè)型號(hào);適應(yīng)加工行業(yè)所用高功率激光的介質(zhì)鏡型號(hào)(低損耗、高閾值)除了原有的波長(zhǎng)800nm±50nm(-02), 1050nm±50nm(-03),410nm±10nm(-05)之外,還增加了530nm-635nm(-13)和510±50nm(-16)兩個(gè)型號(hào),專為激光加工常用波長(zhǎng)532nm, 633nm設(shè)計(jì);-16,-02,和-03三種型號(hào)提供水冷選項(xiàng)(尾綴L/R代表水冷管的位置在左/右)。

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        新品濱松LCOS(硅基液晶)傳承了老產(chǎn)品的優(yōu)秀性能,最高可以承受超過(guò)255W/cm^2的平均功率、幾百兆瓦每平方厘米的皮秒激光器峰值功率、以及幾十G瓦每平方厘米的飛秒激光器峰值功率測(cè)試。以下是幾個(gè)典型測(cè)試數(shù)據(jù)。

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        芯片使用濱松自主研發(fā)生產(chǎn)的X13139系列芯片,分辨率1272×1024,液晶單元尺寸12.5um×12.5um,有效區(qū)域面積15.9mm×12.8mm,填充因子96%。

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基礎(chǔ)加工光路

        激光加工中使用的SLM(空間光調(diào)制器)絕大多數(shù)為反射式,這樣我們?cè)谠O(shè)計(jì)光路的時(shí)候,通常使入射光和反射光(調(diào)制后的光)接近,但是稍微偏離法線(角度建議小于10°)。沿法線方向入射也是可以通過(guò)光路實(shí)現(xiàn)的,但是需要使用分光器件(Beamsplitter)和偏振器件,而這些器件的加入會(huì)導(dǎo)致光路更復(fù)雜,同時(shí)造成大量的光能損失。在設(shè)計(jì)加工光路時(shí),需要將SLM成像到光學(xué)系統(tǒng)的加工平面上,通常是成像到聚焦物鏡的瞳面上。由于SLM加載到加工光束上的相位/振幅分布會(huì)產(chǎn)生衍射,光束輪廓(作為傳播距離的函數(shù))就會(huì)產(chǎn)生畸變。因此需要使用4f系統(tǒng)在瞳面處真實(shí)重現(xiàn)SLM調(diào)制的相位和振幅。

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SLM在激光加工應(yīng)用中的舉例

1.像差校正

        像差會(huì)導(dǎo)致聚焦畸變,從而導(dǎo)致分辨率降低和加工效率降低。 像差的空間變化會(huì)導(dǎo)致整個(gè)被加工件的不均勻性以及功能喪失。 激光加工中最嚴(yán)重的像差,與沿光路到激光焦點(diǎn)(尤其是在工件表面)的折射率變化有關(guān)。當(dāng)通過(guò)平面界面在樣品內(nèi)部聚焦時(shí),表面的折射會(huì)產(chǎn)生球差,其強(qiáng)度與透鏡的數(shù)值孔徑(NA)、表面的折射率差以及聚焦深度有關(guān)。


        在一般的光學(xué)系統(tǒng)中,像差的確定可能非常復(fù)雜,但是對(duì)于激光加工應(yīng)用,由于大多數(shù)情況下只有依賴深度的球差比較重要,因此可以簡(jiǎn)化矯正過(guò)程。 通過(guò)將來(lái)自焦點(diǎn)的光線映射回物鏡的光瞳平面,可以得出與深度相關(guān)的球差的相位解析表達(dá)式。 因此,放置在與物鏡光瞳共軛的平面中的SLM可以用于施加相反相位,從而提供預(yù)先像差校正,這在大多數(shù)情況下就夠用了。 (如果需要更精確水平的像差校正,則必須使用聚焦反饋方法來(lái)優(yōu)化校正相位,該技術(shù)包括聚焦強(qiáng)度分布的測(cè)量,實(shí)時(shí)相位成像,或通過(guò)模態(tài)方法發(fā)現(xiàn)最小化激光功率制造閾值的相位分布。)


2. 光束整形

        通常,當(dāng)光束聚焦時(shí),它會(huì)顯示高斯或艾里斑強(qiáng)度分布。 在某些應(yīng)用中,激光需要加工均勻的橫截面,因此空間光束整形需要產(chǎn)生具有平頂光強(qiáng)度分布的焦點(diǎn),在加工區(qū)域顯示出均勻的強(qiáng)度,并在邊緣處迅速過(guò)渡到低強(qiáng)度。SLM帶來(lái)的的靈活性可根據(jù)實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)調(diào)整光束形狀。平頂光在要求高均一性的大面積加工中非常重要,并且在納米級(jí)應(yīng)用中也有使用,例如納米銀線的受控制造。


        SLM對(duì)光束進(jìn)行整形的另一個(gè)應(yīng)用是采用貝塞爾光束(Bessel beam)進(jìn)行多種激光加工任務(wù),SLM相較于錐棱鏡(axicon)具有更高的靈活性和控制力。 該光分布的特征是中心點(diǎn)的直徑小于等效NA的艾里焦點(diǎn)的直徑,但可擴(kuò)展的景深可以以均勻的軸向強(qiáng)度延伸數(shù)百微米,可用于晶片打孔(孔的縱橫比超過(guò)100:1)或用于垂直邊緣的切割。

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圖片內(nèi)容:使用貝塞爾光能夠在切割材料時(shí)形成一個(gè)更長(zhǎng)的"焦深",相當(dāng)于對(duì)材料有一個(gè)較深的切割深度,同時(shí)在切割深度上能量分布大體均勻,這樣就容易得到較好的切割效果。


3. 并行加工

        通過(guò)利用更多的激光功率,并行加工可以顯著減少加工時(shí)間。SLM是用于并行加工的強(qiáng)大工具,可對(duì)制造激光束進(jìn)行可調(diào)諧和可重新配置的拆分。產(chǎn)生并行加工所需的焦點(diǎn)陣列的常見方法是使用相位調(diào)制在SLM上顯示衍射圖樣(全息圖),例如使用Gerchberg-Saxton算法、直接二進(jìn)制搜索或多重菲涅耳透鏡等。


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