頂點光電子商城2022年4月8日消息：中國軌道交通信息技術研究院，通過自主創新、集成創新以及資源整合，通過3-5年的努力，使一批關鍵技術得到突破，一批科技成果在鄭州轉化，一批科技人才在鄭州聚集，為鄭州科技創新和產業轉型提供堅實支撐。
???? 近日，中國長城旗下鄭州軌道交通信息技術研究院（以下簡稱“鄭州軌交院”）為鄭州市戰略新興產業發展提供支撐，努力打造鄭州市軌道交通產業建設新名片。
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中國長城鄭州軌道交通信息技術研究院歷時一年，在研制新設備的經驗和基礎上，推出全新設備。
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在研制半導體激光隱形晶圓切割設備的經驗和基礎上，推出了支持超薄晶圓全切工藝的全自動12寸晶圓激光開槽設備。
還支持5nm DBG工藝、120微米以下超薄wafer全切割功能、晶圓廠IGBT工藝端相關制程和TAIKO超薄環切等各種高精端工藝。
此外，該設備采用的模塊化設計，可支持不同脈寬（納秒、皮秒、飛秒）激光器。自主研發的光學系統，可實現光斑寬度及長度連續可調，配合超高精度運動控制平臺等技術，解決了激光隱切設備對表面材質、厚度、晶向、電阻率的限制，實現了工藝的全兼容，有效控制產品破損率。
新設備研發將帶動鄭州以交通產業為主的信息安全等新興產業的發展，為建設國家中心城市而努力。
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