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        最近，在紅外探測器領域出現了新的技術方向---微納米結構。微納米結構可以降低紅外探測器吸收層的體積和厚度，達到降低器件暗電流的目的，還能提高光子的吸收率和耦合效率，既能增強紅外探測器的信噪比，還能提升光譜響應范圍。

濱松紅外探測器

        匯總目前在研的微納米結構紅外探測器，主要分為三維等離子體腔型為納米結構，介質型微納米結構和表面金屬型微納米結構。

        采用微納米結構的紅外探測器，增強的性能首先表現在對寬光譜段和特定入射光譜的減反性能上。大幅提升紅外探測器對光的吸收率，意味著可以采用更薄的吸收層，達到同樣的探測效果。同時，微納米結構還可以降低探測器光敏單元的體積，這樣可以有效降低由材料體積導致的暗電流。從另一個層面來說，對提升紅外探測器的性能提供了一個新的思路。

帶有微孔陣列結構的硅基底紅外探測器

        當前，紅外探測器的前沿研究方向是，微納米結構如何影響探測器的性能，以及如何進行多維度的性能調控，這也是下一代紅外探測器的發展方向。

        不過，微納米結構紅外探測器現階段還有很多難題要解決，比如工藝的兼容性問題和性能的提升程度等。因此，微納米結構紅外探測器還需重點突破加工工藝和結構設計方法如何與CMOS工藝兼容，在性能上如何兼具高靈敏度、高響應速度、寬光譜響應范圍和低噪聲等，另外，在光譜響應范圍方面，如何進行動態調控，以匹配不同的器件要求。

        雖然暫時面臨諸多需要解決的難題，但是微納米結構紅外探測器的應用前景非常具有潛力，特別是在高性能、高集成度和低成本應用領域。